技术编号:6706793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有串行传送方式的测定器,特别涉及一种于复数个模块与控制器之间通过串行传送方式实行数据转送的测定器。背景技术 于测定LSI或TFT阵列等的半导体装置的各特性的测定器中,被测定信号输入数较多,为综合所测定的数据并加以解析,如参考文献1揭示的技术,较多的是采用将模拟数字转换(ADC)模拟测定以及测定值,实行向数字数据转换的模块与实行数据处理·解析以该模块所获得的数字数据的控制器部分分离的结构。图2表示具有分离为模块230、231、232以及控制器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。