技术编号：67077
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及，其用途是作位移量的精密测量，可用于机械、材料、电子、生物、仪器仪表等技术领域。背景技术几何量如长度、线位移等的超精密测量技术是现代科学技术和工程技术的一个重要基础。随着科学技术、工程技术向高精度方向的发展，几何量的纳米测量技术已成为其关键技术之一，尤其是大尺度范围的几何量纳米测量技术，在军事科学、电子技术、控制技术、 微系统微机械及超精密制造技术等领域中将起到不可估量的作用。在尺度、线位移等几何量测量中，光栅是一种常用的方便的测量方法。从理论讲， 在单位长度中的刻线数越多越细，光栅的测量精度就越...
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