技术编号:67172
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种扫描设备,尤其涉及一种超音波扫描式显微镜。技术背景参照图1A,其显示公知的超音波扫描式显微镜l(C-Mode Scanning Acoustic Microscope)的扫描情形。公知的超音波扫描式显微镜1包括一轨道10、一探测头20以及介质液体30。待测物(晶片)40置于该介质液体30之中,该探测头20沿轨道10滑动,该探测头20朝该待测物(晶片)40发出一超音波信号2,该超音波信号2接触该待测物(晶片)40之后,由该待测物(晶片)40反射,并由该探测头20所接收。借此,以检测该待测物 (晶...
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