技术编号:6736515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及溅射靶及其制造方法和光信息记录介质用薄膜(特别是作为保护层使用)及其制造方法,在光信息记录介质保护层用薄膜中具有非晶质稳定性,通过溅射形成膜时,可进行直流(DC)溅射,溅射时的起弧少,能够减少由此产生的颗粒(扬尘)或结核,并且能够以高密度且质量偏差少地提高量产性。背景技术 近年来,对作为不需要磁头而可重写的高密度光信息记录介质的高密度记录光盘技术进行开发并迅速商品化。特别是,CD-RW作为可重写的CD从1977年出现到至今,是最普及的相变光盘。该...
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