技术编号:6738979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术图I是示出用于制作常规的垂直磁记录(PMR)换能器的常规方法10的流程图。为了简单起见,省略ー些步骤。常规方法10用于在氧化铝层中提供PMR磁极。经由步骤12在氧化铝层中形成沟槽。沟槽的顶部比沟槽底部宽。因此,在其中形成的PMR磁极的顶表面将比其底部宽。因此,PMR磁极的侧壁将具有反向角。沟槽的底部也可以是倾斜的,从而提供前缘斜面。经由步骤14沉积钌(Ru)间隙层。Ru间隙层用于形成侧间隙。步骤14通常包括使用化学气相沉积(CVD)沉积Ru间隙层。...
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