可修复的多层存储器芯片堆迭及其方法技术资料下载

技术编号:6739634

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本公开涉及一种芯片堆迭,且特别涉及一种可修复的多层存储器芯片堆迭。背景技术三维芯片整合技术可用于缩短内连线(interconnection)的导线长度,提高系统运作效率。对于具有规律性架构的电子元件,例如存储器芯片,使用三维芯片整合技术,可依现有的芯片制作方式顺利达成弹性扩充存储器容量,而无须重新布局,另外制作新的光罩来符合新应用硬件的存储器需求。三维整合技术意指通过穿透娃通孔(Through SiliconVia,以下称TSV)内连线工艺将多个半导体芯片...
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