技术编号：6742984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在XYZ直角坐标系中于X方向上在给定的行程范围内对于基本上平行于X-Y平面的表面进行光学扫描用的装置，该装置包括用于提供辐射光束的辐射源;用于将光束沿Z方向聚焦在该表面上的物镜，所述物镜安装在包括永久磁铁在内的物镜系统中;以及以电磁方式悬置及驱动物镜系统的线圈系统，所述线圈系统包括多个线圈对，每一线圈对又包括沿Z方向一个安装在另一个上方的两个线圈。这种类型的扫描装置，尤其适合对于其上信息按多条同心轨迹或拟同心轨迹集合一起形成的螺旋形轨迹排列的圆盘...
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