半导体存贮装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6743608

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本发明涉及具有存贮单元电容器的半导体存贮装置。半导体存贮装置,是将电荷存贮于形成在半导体装置内的存贮单元电容器内,主要被用作根据其电荷有无来存贮数据的动态随机存取存贮器(DRAM)。该DRAM的存贮单元电容器的电容绝缘膜,一般使用氧化硅膜。最近为实现存贮数据的非易遗失性,也有人提出将强电介质膜用作电容绝缘膜的半导体存贮装置。现举出使用强电介质膜的半导体装置作为以往DRAM的典型例子,对其进行说明。如图5电路结构图所示,对于以往的半导体装置来说,一对位线35...
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