技术编号:6744233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高速,高精度测量两表面之间的距离,其中一个表面基本上是一个透明的部件。尤其是,本发明涉及利用偏振光和干涉测量进行测试的装置和方法。在工业检验和质量控制过程中经常遇到的问题是表面之间小距离的精确测量。例如,在磁性数据贮存系统中,需要测量靠近接触一个快速旋转刚性圆盘上的滑动器运行高度。在此处所述的运行高度是磁头极与旋转刚性圆盘之间的距离,如参见由M.F.Garnier等人于1974年12月17日公布的美国专利U.S.P NO.3,855,625。这种...
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