技术编号：6746928
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种盘片的储存装置，尤指用以存放盘片以供后续加工的盘片储存槽。基于此需求，目前最常见的盘片抓取方式有两种，一种是以真空吸取的方式来吸住盘片的背面，再向上强行拉起，其采用的是面吸引，需要较大的力量才能将盘片粘片分离，且强吸力很容易损坏盘片，同时，在非厂房的地方，真空源取得不易；另一种是利用倒钩的方式由盘片的内孔钩住盘片，再向上引取，将盘片分离，虽然解决了真空吸引的一切缺点，但是因为拉扯的力量不足，因此失败率较高，同时，盘片内缘的固定区(clam...
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