技术编号:6747677
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子材料用清洗剂。更详细地讲,涉及一种不污染电子材料、且不用担心对制造设备造成腐蚀的、对电子材料上的微小颗粒具有优良除去性的电子材料用清洗剂。背景技术以磁盘(magnetic disk)用基板、平板显示器(flat-panel display)用基板以及半导体基板等为代表的电子材料的清洗技术中,在近年来,随着以超大规模集成电路 (ultra-large scale integration,简称为ULSI)等为代表的微加工技术的进步,在电子材料...
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