技术编号：6752657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在盘形基片上形成薄膜的薄膜形成装置和一种薄膜形成方法。更具体地说，本发明还涉及一种溅射装置，其通过溅射方法和用于该装置中的一种所谓内掩模(inner mask)来形成薄膜，以及一种使用这种装置来制造盘形记录媒体例如光盘的盘形记录媒体制造方法。背景技术对于用多种在盘形基片上形成的薄膜而制造的记录媒体，尤其是具有盘形形状的记录媒体，有各种盘片，包括例如CD型盘片如CD、CD-R和CD-RW，或像DVD型盘片的光盘如DVD-ROM和DVD-R，...
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