技术编号：6752862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于盘状物特别是晶片的液体处理的装置。背景技术 当晶片这个词在下文中使用的时候，其代表非常多种类型的盘状物，例如硬盘、光盘或是用于平面显示板的平基片。在液体处理的时候，该晶片可以或静止或绕着其轴线旋转。已知用于晶片的液体处理装置，其中该晶片被保持在一载体上而液体从上方或下方施加至该晶片上。该载体在液体施加期间与该晶片一起旋转，而该液体被甩离该晶片和/或载体。举例来说，此种装置被描述在美国专利第4,903,717号中。该被甩离的液体会打到一包围...
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