变更擦除单位而制造的非易失半导体存储装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6753362

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本发明涉及非易失半导体存储装置,特别涉及可变更擦除单位存储块结构的闪速存储器。背景技术 在功能上,闪速存储器是成批擦除型的可电写入擦除的非易失半导体存储装置。由于闪速存储器成本低并具有电擦除功能,在便携式电器等中有很大的需求,近年来其研究开发盛行。闪速存储器,例如设有浮动栅的、可改变阈值电压的晶体管(以下称为存储晶体管)被作为存储单元使用。图26是传统的闪速存储器的阵列结构的示图。图26中,为了使说明简单,就整体为8M位的存储阵列的情况进行说明。存储阵列5...
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