技术编号：6758959
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种母盘衬底以及制作高密度浮雕结构的方法。背景技术 基于光学工艺制得的浮雕结构例如可以用作大量复制只读存储器(ROM)和预开槽的一次写入(R)和可重写(RE)盘的压模。这种用于复制工艺的压模的制法被称为母盘制作法。在传统的母盘制作法中，用已调制好的聚焦的激光束照射旋涂在玻璃衬底上的薄光敏层。激光束的调制将导致盘的一部分被UV光曝光而同时凹坑之间的中间区域没有得到曝光。当盘旋转并且聚焦的激光束被逐渐引向盘外侧的同时，留下螺旋形的交替被照亮的区域。在...
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