技术编号：6763458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测试半导体器件的装置，尤其涉及一种用于测试半导体存储器件的装置和使用该装置的方法。背景技术 半导体存储器件通常在出售之前要进行测试。半导体存储器件的测试包括三种不同的测试DC参数测试、动态功能测试、以及AC参数测试。在DC参数测试中，检验半导体存储器件的诸如源电流、漏电流的DC特性和输出电压特性。在动态功能测试中，确定半导体存储器件实际操作时是否正确地执行预定的操作。在AC参数测试中，测量半导体存储器件的AC特性，即半导体存储器件的时间相关参...
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