技术编号:6764597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于光学校准盘的系统和方法包括在衬底的一部分上分配抗蚀剂层。衬底的表面和模板的预定对象的形貌图案化表面接触到一起,其中接触使得衬底部分和模板之间的抗蚀剂层与形貌图案化表面共形,并且抗蚀剂层包括纳米尺度孔隙。纳米尺度孔隙通过更长的扩散时间、更薄的抗蚀剂以及通过使用去渣步骤对残留抗蚀剂层连同孔隙的去除而减少。抗蚀剂层被硬化成形貌图案化表面的负像,其中所述负像包括可用于被光学读取器单独测量的表面。衬底和模板被分离,其中抗蚀剂层附着于衬底的表面。专利说明光学校...
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