技术编号:6771586
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明整体涉及包括熔丝元件的半导体集成电路领域。背景技术在高精度模拟集成电路的生产过程中,芯片的性能是由一连串的工艺步骤决定的。每一步都包含了多种可变的工艺参数,并且工艺参数的变化是随机的。特定的工艺参数偏差组合,会对高精度模拟电路的性能产生很大的影响。在制造过程中,同一晶圆上不同位置的芯片受工艺参数的影响也不尽相同。发明内容本发明的主要目的在于减少工艺偏差对闻精度|旲拟电路性能的影响,并提闻芯片 间性能的一致性。为了减少工艺偏差对高精度模拟电路性能的影响...
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