技术编号:6772702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及利用等离子体处理多个工件的设备和方法。 背景技术磁盘驱动器已广泛用于各种应用中,尤其是计算机工业中。特别地,磁盘驱动器用 于在盘片上以可磁化的形式存储大量数据/信息。盘片被支撑在由马达驱动的轴上并且通 过硬盘驱动器旋转。使用一个或多个写入头将数据/信息写入到盘片上的磁性介质并且使 用一个或多个读出头来从该磁性介质读出。每个写入头施加如下磁场,该磁场对沉积在盘片上的磁性介质中的可磁化材料的 薄膜区域进行选择性磁化。通常,盘片由非磁性材料例如铝...
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