技术编号:6773035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种包括用于衬底转移的机械手的真空处理设备以及一种衬底转移 方法,并且更具体地涉及一种包括用于在例如直列式沉积设备中进行衬底转移的机械手的 真空处理设备和使用该机械手的衬底转移方法,所述直列式沉积设备在具有中心孔的、诸 如磁盘或光盘的记录介质上沉积层。背景技术传统上已经采用机械手在预定沉积处理之前从衬底存储单元拾取衬底并且将这 些衬底装载到托架上,或者从托架卸载已经进行了预定沉积处理的衬底并且将这些衬底存 储在衬底存储单元中。标量机械手广泛地用作...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术无源代码,用于学习原理,如您想要源代码请勿下载。