技术编号：6773687
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学扫描装置以及在该扫描装置中决定焦点位置的方法。背景技术国际专利申请案W02006/018749揭示一近场光学扫描装置，用以扫描一记录载体。在近场光学扫描装置中，放射光束使用消散波耦合而穿过一目标系统的出射面与该记录载体的外表面之间的间隙。在扫描时，间隙伺服用来保持间隙的尺寸在大约25nm的距离。装置中的倾斜伺服则用来控制目标系统与记录载体之间的一倾斜角，使其保持在相对紧密的倾斜公差之内。该公差可小至1.2mrad。该倾斜信号由消散波耦合穿过目...
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