技术编号:6773706
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,尤其涉及空气承载面上的保护膜的形成方法。 背景技术在硬盘装置中,磁头滑块(以下称为滑块。)相对于记录媒体(硬盘或磁盘)以微 小的空间飞行,读取来自记录媒体的数据,以及向记录媒体写入数据。对于进行从记录媒体读取数据以及向记录媒体写入数据的磁头,必须在各种环境 下防止磁头的腐蚀,并且对磁头与记录媒体的冲撞进行保护。因此,在滑块面向记录媒体的 一面,即空气承载面上形成由类金刚石碳膜(DLC)等构成的保护膜。但是,近年来随着记录媒体高记录密度化的进步,...
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