技术编号:6774066
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,更具体地讲,本发明涉及一种具有暴露电阻性尖端的电阻性区域的金属屏蔽的半导体探针以及一种制造该半导体探针的方法。背景技术 由于小型产品比如移动通讯终端、袖珍PC已经变得更流行,所以对高度集成的非易失性微记录介质的需求增长。将现有的硬盘小型化或者将闪存高度集成并不容易。因此,已经研究了采用扫描探针的信息存储装置作为替换物。探针应用在各种扫描探针显微镜(SPM)技术中。例如,探针用于扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、磁力显微镜(M...
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