技术编号:6774629
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及研磨液组合物、基板的研磨方法和基板的制造方法。背景技术 在近年的存储硬盘驱动装置中,要求小型化和高容量化,为提高记录密度,一直在努力降低磁头的浮动高度并减小单位记录的面积。另一方面,在磁盘用基板的制造工序中,对研磨后的基板的表面质量要求也一年比一年严格,作为降低磁头浮动高度的对策,必须减小其表面粗糙度、微观波纹度以及突起。另外,为了增大每一块硬盘的记录面积,要求到基板的外周端部都是平坦的,并且在基板的研磨中,抑制端面下垂(roll off)变得更...
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