技术编号：6776548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于紫外线和/或深紫外线波长的 光学扫描设备的物镜系统本发明涉及用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜 系统以及这种光学扫描设备。由于玻璃材料的高uv吸收率，用于紫外线和/或深紫外线波长射线区域、尤其是用于物镜系统的光学部件通常是由熔融石英构成。在这个 波长区域中对光学材料的选择几乎排他地限于石英的事实具有各种缺 点，这对于具有高数值孔径的部件尤为如此。使用具有非球形或非球面 石英的选择并不具有吸引力，因为石英玻璃的玻璃注模需要非常高的温 度。这...
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