半导体存储器件的晶粒上热传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6778361

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本发明涉及一种半导体存储器件的晶粒上热传感器(On Die ThermalSensor,ODTS),具体地,涉及一种用于防止在低电源电压环境下发生错误的ODTS。背景技术 随着半导体存储器件的操作速度增加,在半导体存储器件之间形成接口的信号的摆动范围变窄以使传送所述信号所需的延迟时间最小化。动态随机存取存储(DRAM)器件的单位存储单元包括晶体管和电容器。所述晶体管执行切换操作且所述电容器存储电荷(即数据)。根据存储于所述电容器中的电荷,数据具有逻辑电平″...
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