技术编号:6780226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术,特别涉及一种阻抗存储器制作方法以及一种阻抗存 储器。背景技术作为一种速度快、存储密度高、成本低、制造简单且与半导体制造技术中的互补金 属氧化物半导体(CM0Q等制作工艺兼容良好的新型存储技术,新一代非易失性存储器阻 抗存储器(RRAM)受到了越来越多的关注。阻抗存储器主要由上电极、下电极以及位于上下电极之间的可变电阻金属氧化层 三部分组成。其中,核心部分是具有两种电阻状态的可变电阻金属氧化层。若向该可变电 阻金属氧化层施加一定方向...
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