技术编号：6781262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用激光束记录器控制光学介质，并且具体涉及激光束记 录器中所使用的用于在基底上移动聚焦的激光斑点的线性马达。背景技术在用于控制光学介质的激光束记录器中，在基底上移动聚焦的激光斑 点来以期望的图案照明基底上的例如光抗蚀剂的光敏材料。对于大多数光 学介质系统，以坑和/或沟槽来记录螺旋。为了实现此目的，旋转基底，并 相对于基底径向地平移激光斑点。即，或者旋转基底能够平移，或者聚焦 的斑点能够平移。为了将记录斑点保持聚焦在基底表面上，激光束记录器 典型地...
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