磁盘用滑翔头的制作方法技术资料下载

技术编号:6783819

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本发明涉及一种用于磁盘的制造检查等的滑翔头(グライドベツド)。背景技术 用于硬盘装置的磁盘使用圆盘状的玻璃或铝等非磁性材料基板。在非磁性材料基板的表面形成磁性膜和主要由碳构成的保护膜,在其上涂覆氟碳化合物系的润滑剂。这样制作的磁盘与磁头组合,用作记录或再生信息的记录装置。磁盘用滑翔头(以下有时也简单地称为滑翔头)作为用于检测发生于该磁盘的表面的微小的突起或异物等(以后称缺陷)的传感器,在磁盘的检查工序中使用。滑翔头多种得到了实用化,但搭载了压电元件的滑翔头...
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