技术编号:6784245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在用于计算机的磁性存储盘的制造过程中衬底的冷却。背景技术 在用作计算机存储器的硬盘的制造过程中,衬底被置入真空环境中,在所述真空环境中进行各种加工并且将各种涂层沉积在衬底的表面上。所述多种加工步骤可以包括例如加热衬底、冷却衬底、向衬底上溅射涂层、使用化学气相淀积和增强的等离子体技术敷设涂层、在衬底上沉积保护性碳涂层、以及其它类似的加工步骤。有时,磁盘制造商还将润滑剂置于磁盘的最终表面上。在上述的制造加工过程中,典型地,衬底沿其边缘保持并且移入加工...
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