技术编号：6784588
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及铁电聚合物存储器件以及制备这些器件的方法。背景技术 铁电器件(例如铁电聚合物存储器件)可以包括夹在多层电极之间的一层或多层铁电材料。形成器件(例如铁电聚合物存储器件)的方法可改变，但一种方法可包括在第一电极层上沉积一层铁电聚合物，然后在铁电聚合物层的实质部分上沉积并形成第二电极层的图案。现有技术使用减法金属集成方案(subtractive metalintegration scheme)以形成聚合物存储器件。减法金属集成要求首先毯式沉积金...
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