技术编号:6784730
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在一个基板上形成有集成电路和液晶显示部分的基板制造用的正型抗蚀剂组合物以及使用它的抗蚀图案的形成方法。背景技术 以往作为使用玻璃基板的液晶显示元件制造领域中的抗蚀剂材料,大多使用的是以酚醛清漆树脂作为碱溶性树脂、以含有苯醌二叠氮基的化合物作为感光成分的正型抗蚀剂组合物,这是因为它适合ghi线曝光且比较廉价,而且能够形成感度、分辨力及形状良好的抗蚀图案,对此已有报道(下述专利文献1~4)。至今,由于目的在于形成显示器的象素部分,因此只要能形成非常粗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。