技术编号:6784797
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种纳米结构、纳米器件的加工技术,尤其是一种磁场诱导下选择性化学沉积制备磁性纳米间隙电极的方法,属于纳米器件加工的。背景技术 纳米电子器件,其特征尺寸在纳米量级(1-100nm)内,不再遵循传统微电子学的基本运行规律,而电子的波动性、量子效应等将在此类器件中起重要作用,其关键技术的突破将有望成为新的经济生长点,并将会对人类社会的各个方面产生深远影响。纳米加工技术则是发展纳电子器件的基础。纳米间隙电极是发展纳电子器件尤其是单电子器件的一个关键结构或基...
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