技术编号:6785535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种高效率、高耐压肖特基芯片[0001]一种高效率、高耐压肖特基芯片,属于半导体器件制造。具体涉及一种新 型高效率肖特基二极管Schottky。背景技术[0002]传统N通道肖特基芯片肖特基界面下方是多晶硅,多晶硅的外周挖沟槽,因为只 有一种沟槽且沟槽氧化硅的厚度一致,如图2所示,在沟槽底部弯角的地方容易发生电力 击穿,该种肖特基芯片反向耐压较低,肖特基界面通过电流面积小,通电效率低。发明内容[0003]本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供...
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