红外线传感器芯片、红外线检测器以及其运行方法和测试方法技术资料下载

技术编号:6786688

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本发明涉及。背景技术辐射热测量计型红外线检测器具有随温度变化的阻抗特性。另外,该红外线检测器由传感器(例如,可以举例辐射热测量计(bolometer))和用来处理从传感器检测到的红外线的量的信号的输出控制集成电路(ROIC Read Out Integrated Circuit)构成。现有的红外线检测器将这种输出控制集成电路事先设计在晶片基板上,并利用MEMS工序在该晶片基板上制作传感器。因此,输出控制集成电路(ROIC)事先设计在晶片上,并在该输出控制集...
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