技术编号:6787745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般涉及具有半导体材料的场效应晶体管(FET)和薄膜晶体管(TFT),该半导体材料包含氧、氮及一或多个选自于由锌、镓、镉、铟和锡所构成的群组中的元素。背景技术因TFT阵列可用在常用于电脑和电视平面面板的液晶有源矩阵显示器(LCD),因此目前潮流对这些装置特别感兴趣。LCD还设有发光二极管(LED)做为背光源。另外,有机发光二极管(OLED)已用于有源矩阵显示器,且这些OLED需要TFT来处理显示器的动作。以非晶硅制作的TFT已成为平面显示器产...
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