技术编号:6788775
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及一种,特别是涉及一种运用湿式法来制作的。背景技术电容为一种储能元件,在两平行的金属板间夹以介电材料,当施加一直流电源于该金属板上时,电荷因为不易通过所述绝缘材料而累积,如此于此两金属板间形成一电场而储存其能量。典型的整合无源元件(Integrated Passive Device, IPD)中可能在芯片尺寸的元件中包含电阻、电感及电容,其中电容部份的制作过程是在基本的金属-绝缘-金属(MIM)的结构中,使用两种或多种以上的材料来满足数值与性能的...
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