在cmos工艺中单片集成光子元件与电子元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6789705

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本发明的某些实施例涉及半导体处理。更明确来说,本发明的某些实施例涉及一种用于在CMOS工艺中单片集成光子元件和电子元件的方法和系统。背景技术随着数据网络逐步增加以满足不断增长的带宽要求,铜数据通道的缺陷正变得显而易见。因辐射的电磁能量引起的信号衰减和串扰是此类系统的设计者所面临的主要阻碍。可通过均衡化、编码和屏蔽而使其在一定程度上减轻,但这些技术要求相当大的功率、复杂性和大体积电缆的代价,同时仅提供能达到的少量的改善和非常有限的缩放性。光学通信因为没有此些...
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