技术编号:6790120
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种机械手定位装置,主要应用于等离子体增强化学气象沉积设备中,用于完成真空机械手在反应腔和加热盘的定位,或在过渡腔和设备前端模块机械手的定位。属于半导体薄膜沉积应用及制备。背景技术在12寸转8寸的PECVD (等离子体增强化学气象沉积)设备中,EFEM机械手的手指是经处理的一头为圆角的平板,该平板在和真空机械手手指交接时,为了避免干涉,真空机械手手指需要做成叉形的。在进行定位时,传统方法是在EFEM的手指上放一片晶圆,伸入LoadLock真空机械...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。