技术编号:6790389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电转换设备和制造这样的光电转换设备的方法,具体来说,涉及包括用于抑制布线材料扩散到层间绝缘膜中的扩散抑制膜的光电转换设备,并涉及制造这样的光电转换设备的方法。背景技术近年来,已经广泛地开发了使用MOS晶体管的MOS型的光电转换设备。在这样的光电转换设备中,正在开发缩小像素的大小并增大像素的数量的实现方法。追随这一趋势,正在研究采用将布线材料从铝改变为铜的方法。作为使用铜布线的现有技术的光电转换设备,已提出了如在专利文献I (日本专利申请公开出版...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。