技术编号:6791479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示面板制造领域,特别是涉及一种低温多晶硅的制作方法、基于该方法的低温多晶硅薄膜以及具有该低温多晶硅薄膜的薄膜晶体管。背景技术有源矩阵有机发光二极体面板(AMOLED)凭据高画质、移动图像响应时间短、低功耗、宽视角及超轻超薄等优点,成为了未来显示技术的最好选择。目前AMOLED的背板技术中,制作多晶硅层的技术,包括准分子激光退火(ELA),固相晶化(SPC),金属诱导晶化(MIC)等多种制作方法。目前,唯一能实现背板中晶体管有源层量产化的方法是采...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。