技术编号:6791495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于半导体硅片加工生产中,硅片清洗工序所用的硅片承载装置,特别的涉及一种聚四氟乙烯材料焊接而成的硅片承载器。背景技术集成电路的制造涉及在半导体基板的硅片上的多种操作。其中某些操作可能包括例如光刻、蚀刻、曝光,其中所涉及的环境一般都属于强酸和/或强碱等强腐蚀性环境,因而用于承载硅片进行相应操作的承载器需要能够耐强酸及强碱腐蚀,甚至是高温条件下强酸及强碱的腐蚀,这样的材料通常选择氟塑料,例如聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)...
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