技术编号:6791786
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种温度自动控制系统,适用于气体激光器,尤其适用于准分子激光器及具有双腔结构的准分子激光器。背景技术准分子激光器是一种面向紫外特征应用的常规气体激光器,具有波长短、高重频和可定标放大的特点,是优秀的光刻用激光光源。传统的放电泵浦准分子激光器采用单腔结构设计。随着光刻技术的发展,要求光源具有更窄的光谱宽度(线宽)、更高的重复频率以及更高的平均功率。为了有效地实现光谱宽度窄化和激光功率提高,双腔结构被引入到激光器的设计中。其基本思想是使线宽压窄和提高...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。