技术编号:6792420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种圆片级三维电容结构,属于半导体集成电路制造领域。背景技术随着现代通信系统快速发展,射频电路和微波电路得到了广泛的应用,便携式无线产品里使用的大多数器件是无源电子器件。无源电子器件已经成为制约整机进一步向小型化、集成化发展的瓶颈。如果把这些无源电子器件集成到一个衬底或一个独立的器件上将能明显地提高产品性能、降低生产成本和减小尺寸,其中,电容是集成电路关键无源器件之一,能够实现匹配、滤波和偏置等功能。目前,应用于电子产品的电容大多是分立器件,...
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