技术编号:6796048
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种滚涂用敏射线组合物,更具体地说,本发明涉及一种通过滚涂法涂覆时能提供一种决不形成不均匀涂层的抗蚀剂层的敏射线组合物。在半导体集成电路元件、滤色器、液晶显示元件等生产过程中,通常采用金属版印刷技术来进行精细加工。近年来,人们致力于开发能在亚微米级或亚四分之一微米级上进行精细加工的技术。在这种金属版印刷技术中,正性(positive-working)或负性工作敏射线组合物被直接涂在基底上,或者在基底上形成抗反射涂层后将其涂在基底上,涂覆的组合物被...
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