技术编号:6796260
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种机械搬运装置,特别是关于一种适用于取送薄型基片的硅片传送装置。背景技术目前在半导体硅片制造行业中,为了方便在硅片上集成所需信息,往往会在圆形硅片的边缘设置一定位槽,以标明硅片的方向,并在相对定位槽的固定位置刻有该硅片的相应信息(可以是数字符号、一维条码、二维码等),方便多次集成电路加工的重复定位和信息读取。而且由于受到加工环境和组装过程的影响,通常需要将硅片在各工艺设备中高速、准确、洁净且绝对安全的反复传送,因此必须要用高性能的专用机械手...
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