氧化物陶瓷膜湿敏元件的制造工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:6800103

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本发明涉及的是以新型氧化物陶瓷膜湿敏材料制成的电阻值随相对温度变化而变化的湿敏元件。当前,国内外被广泛应用的湿敏元件,主要有高分子和陶瓷两大类。高分子膜湿敏元件虽然响应快和精度高,但因其寿命短,不能在高污染的环境中工作,即使在使用温度为60℃以下的环境中使用,仍需对其元件进行温度修正;而陶瓷湿敏元件,虽然感湿范围宽,耐热性和耐腐蚀性都好,但是无论薄膜、厚膜或体型陶瓷湿敏元件,均存在稳定性、重复性和一致性不好、温度系数大等问题。如多孔氧化铝薄膜湿敏元件和Fe...
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