技术编号：6802479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微细加工，更进一步涉及一种用投影成像无掩模曝光技术和一种用投影反射成橡无掩模曝光技术，制造圆环形单层或多层载电流线圈。目前，用于制造圆环形载电流线圈的是激光束烧蚀、机械旋转进给技术。如日本专利公开的特许公报(A)平1-313916。其缺点是工件需要机械运动，难以在长期工作中保证精度。日本专利公开特许公报A昭62-247514公开的制造圆柱形载电流线圈，采用的是有掩模曝光技术，由于掩模直接与工件接触，容易污染损坏掩模。利用上述技术也可以制造多层圆柱...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。