技术编号:6804452
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件制造。常规双极型功率三极管管芯是利用常规扩散的方法制造的。其基区宽度是平整的。即是利用基区扩散结深的平整部份和发射区扩散部份所构成。这种方法工艺简便,但也存在着一般双极型器件的弱点,如电流增益(hFE)随温度的变化大,易发生二次击穿,开关特性差等。本发明的目的是提供一种新的硅双极型功率三极管管芯。它的制管工艺流程与常规方法类同,但生产出的器件却兼含着若干场效应器件的性质。本发明的目的是这样实现的。采用常规的制管工艺流程,其区别特征是基区...
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