技术编号：6806780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般说来涉及到半导体，更确切地说是半导体加速计。过去，半导体工业已利用各种各样的结构和方法来制作半导体加速计。现有加速计的一类利用二个带有固定的二块平行平板的串联电容器和一个悬挂在二块固定平板之间的可移动的平面传感器元件。传感器元件构成一个与二个电容器共接的第三块板。当加速力引起传感器元件移动到更靠近固定电容器平板中的某一个时，加速计的电容值发生变化。耦合到加速计的外部电路就检测到电容值的改变。这种现有的半导体加速计的一个缺点是其精度不能令人满意。典...
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